プローブカード
アドバンスト
プローブカード/Mタイプ
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MCシリーズ
主にDRAMやNAND型フラッシュメモリー等のウエハテストに使われている、プローブカードです。
当社の製品の中では、もっとも多くのプローブが実装できる製品です。
より多くのプローブを搭載し、高密度なプローブカードを実現する為に、MEMSと呼ばれる高度な技術が、プローブや配線基板の一部に使われています。
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MTシリーズ
ロジックIC向けのMEMS型のプローブカードです。
MEMS技術を用いて製造された垂直型MEMSプローブの採用により狭ピッチなエリアアレイ配列に対応可能とし、フリップチップの測定に最適なプローブカードです。
アドバンスト
プローブカード/Vタイプ
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VSシリーズ
主にスマートフォン等に用いられるMPUやNAND型フラッシュメモリーのウエハテストに使われている、スプリングピンを用いた垂直接触型プローブカードです。
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VCシリーズ
主にNAND型フラッシュメモリー等のウエハテストに使われている、垂直接触型プローブカードです。
ウエハ一括測定等、同時に多数の半導体チップを測定が可能です。
大型のプローブカードの中では比較的扱いが容易で、メモリーIC以外でも採用される等、多くの実績とノウハウを持つ製品です。
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VTシリーズ
主にマイコンやSOC等のロジックICのウエハテストに使われている垂直接触型プローブカードです。
狭ピッチの電極を持つ半導体チップの同時多数個測定を実現します。
また、配線基板の一部において、MEMS技術を用いた部品を使う事によって、優れた電気的特性も実現しております。
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VEシリーズ
スマートフォンをはじめ、車載用等の様々な用途のカメラ向けに市場が広がっているCMOSやCCD等のイメージセンサーのウエハテストに用いられるプローブカードです。
イメージセンサーのテストの特徴である、光源用の開口部を確保しながら、同時多数個測定を実現しています。
カンチレバー型
プローブカード/Cタイプ
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CEシリーズ
ロジックIC向けを中心に、様々な分野で広く使われているプローブカードです。
蓄積されたノウハウとたゆまぬ性能向上により、多くの半導体メーカーより厚い信頼を得ております。